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Alfred Kwok-Kit Wong:

Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT47) - Pasta blanda

ISBN: 0819439959

[SR: 1966210], Paperback, [EAN: 9780819439956], SPIE Publications, SPIE Publications, Book, [PU: SPIE Publications], SPIE Publications, This tutorial summarizes optical lithography enhanc… Más…

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Wong, Alfred K.:

Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography - libro nuevo

ISBN: 9780819439956

Ever-smaller IC devices are pushing the optical lithography envelope, increasing the importance of resolution enhancement techniques. This tutorial encompasses two decades of research. It… Más…

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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47) - Pasta blanda

2001

ISBN: 9780819439956

SPIE Press, Taschenbuch, 214 Seiten, Publiziert: 2001-03-31T00:00:01Z, Produktgruppe: Book, Verkaufsrang: 4751601, Elektrotechnik, Ingenieurwissenschaft & Technik, Naturwissenschaften & T… Más…

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2001, ISBN: 9780819439956

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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography, Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47 - libro usado

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Detalles del libro
Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47)
Autor:
Título:
ISBN:

0819439959


This tutorial summarizes optical lithography enhancement research and development over the past 20 years. Discusses theoretical and practical aspects of commonly used techniques, including optical imaging and resolution, modified illumination, optical proximity correction, alternating and attenuating phase-shifting masks, selecting RETs, and second-generation RETs. Useful for students and practicing lithographers.

Contents

- Foreword
- Preface
- List of symbols
- Introduction
- Optical imaging and resolution
- Modified illumination
- Optical proximity correction
- Alternating phase-shifting mask
- Attenuated phase-shift mask
- Selecting appropriate RETs
- Second-generation RETs
- Concluding remarks
- k1 conversion charts
- Bibliography
- Index

Detalles del libro - Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47)


EAN (ISBN-13): 9780819439956
ISBN (ISBN-10): 0819439959
Tapa blanda
Año de publicación: 2001
Editorial: SPIE Press

Libro en la base de datos desde 2007-06-05T04:55:43+02:00 (Madrid)
Página de detalles modificada por última vez el 2020-03-15T14:40:47+01:00 (Madrid)
ISBN/EAN: 0819439959

ISBN - escritura alterna:
0-8194-3995-9, 978-0-8194-3995-6
Mode alterno de escritura y términos de búsqueda relacionados:
Autor del libro: kit wong
Título del libro: resolution, spie vol, enhancement

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